外层清洗线监控
外层线路 - 铜面状态与化学品自动添加监控
设备在线: 2/2
工艺制造指标 (Physical Specs)
已达标表面能: 45dyne
水滴角: 8.5°
粗糙度: OK
MES 深度监控控制参数
系统实时推送
pH分析: 3.2
风机压力: 4.5kPa
更新周期: 82%
首件表面检查
合格
无指纹/油脂残留
微蚀缸浓度
3.2 g/L
处于工艺窗口中心
烘干段出板温度
55℃
确保表面干燥
清洗机流速
5.5
m/min
槽液实时监控矩阵
正常
预警