真空等离子改性看板
电镀制程 - 真空室压力与射频发生器功率监控
设备在线: 2/2
工艺制造指标 (Physical Specs)
已达标残胶去除率: 99.9%
孔壁改性: 优
浓度一致: 均一
MES 深度监控控制参数
系统实时推送
腔室压力: 152mTorr
RF功率: 3000W
处理周期: 100%
等离子体起辉成功率
100%
真空腔室充放电正常
气体配比精度
±1sccm
O2/CF4 反应平衡
处理周期合规性
100%
确保去除效率
当前工艺腔压
152
mTorr (稳定运行)